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我国使用的0

我国使用的0.1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价---1万美元以上。在-集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，---制约了-集成电路技术的发展。美国asyst公司、德国mw公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项的洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到别的微环境，消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和---性的影响作用。

净化室天棚要求及密封胶处理好

净化室天棚要求 净化室天棚距顶棚有一定高度。一般高度为1.8米左右，便于检修，便于安装照明设备。净化室天棚，是净化室安装工程量部分，也是难施工部分。无论多大的净化室天棚，安装完毕看上去应为一个整体，看不出有接缝，水平高度一致。天棚必须吊装牢固，不能由于温度变化产生移动，净化室多数情况下为正气压，即室内气压高于室外气压。这对于面积较大的净化室天棚会产生一定的压力，使棚顶出现微小缝隙，影响净化效果。要解决这个问题，在施工时，棚顶所有接缝周边必须用密封胶处理好。密封胶必须使用防霉变密封胶。

净化空调系统风管的安装

安装条件 对净化空调系统风管的安装，应在建筑物内部安装部的地面做好，墙面已抹灰完毕室内 无尘土飞扬，或有防尘措施的条件下进行。 检查现场结构预留孔洞的尺寸、位置是符合图纸要求，有无遗漏现象，预留的孔洞应比风管实际截面尺寸大于10mm。 作业地点要有相应的辅助设施，比热梯子、架子及电源和安全设置、消防器材。 使风管、附件及成品及半成品，应有出厂合格证。 风管支吊架安装前必须进行防腐处理。 风管安装应按设计图，并有施工技术、、安全交底。