高纯气体必须满足的条件
:1、主体成分含量必须大于某一定值。
2、各杂质组分含量必须小于某一定值。 电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需满-上要求, 可列为高纯气体。理论上, 高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-*** 杂质含量。事实上, 用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。线宽下对超纯氮气的要求,高纯氮气pn2:系统管道采用内壁电解抛光ep低碳316l不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。既使象-这类产品, 可以通过规定的方法, 直接测定得到“纯度值”, 但该值也包含有水分、酸性气体及其它与强碱作用的成分。所以说, 该“纯度”也并非理论-的气体纯度。而另外一种通过测定气体中所含有的所有杂质成分, 计算求得气体纯度(理论纯度) 的方法, 同样难以实现。
石化用特种气体安全贮运:气瓶露天使用时应加以防护, 防止生锈和侵蚀, 库存瓶要定期检查, 色标、合格证、泄漏等如不清楚、有疑问, 应及时和厂家联系, 分析确认后才可使用。有专人负责管理, 验收核实, 登记发放做到有帐可查,不管是仓库还是使用场所, 空瓶与实瓶都应分开放置, 并有明显标志。毒性气体气瓶和瓶内气体相互接触能引起燃烧, 产生毒物的气瓶应分室存放, 并在附近设置防毒用具、灭火器材。但是氮氢混合气体也具有-的风险,主要是因为氧气的易然性质决定的,如果在氮氢混合气体中若混入氧气遇到火就会发生燃爆。另外气体采购计划按生产需要的实际情况尽量做到现购现用, 以防止使用过期钢瓶, 同时可减少很多不安全因素。
半导体气体很多是对人体有害。-是其中有些气体如sih4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有ash3的毒性,任何些微的泄漏都可能造-员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就-高。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色,-是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业,凡举传统的ulsi、tft-lcd到现在的微机电(mems)产业,皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程,其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体,而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响,气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。虽稀有气体市场供应持续增长,但面对2019年稀有气体下游的-产业,尤其是半导体、光纤、航天、科研领域应用需求的快速增长仍有较大压力。
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