EDWARDS真空分子泵用途结构图「潽拓光电」

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广州潽拓光电科技——

气体输送能力强

  大多数涡轮分子泵对于输送轻气体如氢、-的能力很强。广州潽拓光电——出售edwardsext40020030ipx分子泵涡轮分子泵的抽气原理利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。因而它非常适于真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，-质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

分子泵清洗的方法如下：

1．关掉分子泵，进行排气。

2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。

3．拆掉冷却器、加热器如果有的话等

4．拆掉润滑的油包

5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。

  广州潽拓光电科技有限公司主要从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，太阳能电池板等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，承接等，是leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian)等-品牌分子泵维修厂商。2)泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对-齿轮来实现其相对同步运转的。

edwards ext406px 复合涡轮分子泵

性能特点

真空系统简单

* 可以选用较小的前级泵。

* 降低真空系统体积与功耗。

* 前级压力在8mbar就可启动，入口负载可达2e-3 。

* 前级压力为17mbar时，还可维持正常转速。

* 也可使用用户自己的24v dc电源。

技术数据

入口法兰 dn100iso-k、dn100cf、dn160iso-k、dn160cf

压缩比

n2 >;1 x 10e11

he 1 x 10e6

h2 5 x 10e4

出口法兰前级泵口 dn25nw

前级泵 xds10或rv12或其它更小的，依应用而定

放气口 1/8 inch bsp

吹扫净化口 1/8 inch bsp

潽拓——edwards真空分子泵用途，分子泵

广州德国edwards爱德华真空泵rv5旋转式叶片泵现货

edwards爱德华 rv5旋片真空泵产品特点：

edwards rv 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 rv 泵独具特色，能够以高真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音低的优势使之成为广泛适用于各种应用包括 gcms 和其他小工作台式应用的理想产品。

所有泵产品均经外部测试机构检验，符合 ul 和 csa 标准。 edwards 拥有-全球的网络，在各地对产品应用和服务提供支持。

edwards rv系列旋转式叶片泵基于超过 75 年的经验 和全新设计计划以产生小型油封旋转式叶片泵的范围。 edwards rv 系列真空泵已售出超过 200,000 台，为行业树立了新标准。这一成功基于在广泛的应用和环境中经过现场验证的设计和-性。