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真空腔体公司给您好的建议「沈阳鹏程」

发布者:沈阳鹏程真空技术有限责任公司  时间:2021-11-16 






长方形一体成型腔室

真空(uhv)是一门精密技术的艺术,各种镀膜、检测分析、量测、及其他实验皆可根据需求整合在一个或多个的真空(uhv)腔体(箱体),或以真空传输系统进行链接,htc日扬真空在真空(uhv)腔体(箱体)制作拥有丰富经验及技术。我们根据不同的实验需求对真空(uhv)腔体(箱体)进行精密的设计,能满足配合客户实验上的各种及性能要求。

1. 腔体常规材质:不锈钢304,可定制不锈钢316、316l腔体;

2. 腔体可根据需求设有快开进样门,铰链机构,移动灵活,快开门密封件材质采用氟橡胶;

3. 法兰接口、腔体大小根据客户需求定制;

4. 腔室内外-超声波清洗,表面清洁;

5. 腔室漏率≤1x10-12pam3/s;

6. 配合适的真空系统,真空度可进入10-6pa;

7. 供货周期:确认方案后5到6周;

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产长方形一体成型腔室产品,欢迎新老客户莅临。



真空腔体的焊接工艺

铝合金真空腔体密封水道焊接,有其-的重要性。铝合金焊接本身就因为其特殊的物理性能,容易出现气孔,裂纹等缺陷。铝合金真空腔密封水道的焊接增添了焊接的难度,铝合金从固态转变为液态时,无明显的颜色变化,所以不易判断母材温度,焊接预热温度过低,起弧困难,焊接预热过高,影响母材组织性能,因此焊接预热温度,焊接速度的控制,都有-的要求。另外,此零件焊接缺陷及其敏感,任何焊接不连续缺陷都是不允许的,焊后机加表面仍不允许出现气孔等缺陷,精加后先对零件进行-气泄漏检测,检测要求-测仪保持在1×10-9atm cc/mec以上,不漏;-测后水压测试,水压保持120pisg,要求保压1h不漏,因此,铝合金水道盖板与真空腔体水道进行焊接的焊接难度较大,因此焊接工艺是非常重要的。



真空腔体概述

真空设备包含很多组件,如真空腔体,真空密封传导件,视口设置,真空传感器,真空显示表,沉积系统,蒸发源和蒸发材料,溅镀靶材,等离子刻蚀设备,离子注入设备,真空炉,真空泵,法兰,阀门和管件等。真空设备常用于脱气,焊接,制备薄膜涂层,生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。

基板指的是一个大的法兰适配器,可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置,可连接到真空抽气系统。

脱气箱或者脱气室通常是腔体结构,一般带有铰链接口,可连接不需要高真空环境的其他装置,如塑料样品、-、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。

辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。

基地井整合了基板和真空密封颈,用焊接接头取代一个真空密封件,可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。




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