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真空检漏的具体方法 为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是-压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但-压力不合格。 (1)-压力合格,升压率不合格 -压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。

检漏设备：质谱检漏仪之间使用金属软管连接。-质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及-质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。-质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等。

对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入--氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小-不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6mpa的纯-或-含量30%-氮混合气体，然后放入检漏罐中。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷-气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。