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当管内气流为不连续流动时，管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时，管材所吸附的气体又形成解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。

同时，吸附、解析周而复始，使得管材内表面金属也会产生一定的粉末，这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。管材的这一特性---，为了---输送的气体的纯净度，不仅要求管材内表面有一个---的光滑度，而且，应当具有---的耐磨特性。

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316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性---降低。

另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。

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在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的混合气体批发，为了---末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量包括尘粒控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端---气体过滤器。

根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体

实施---要展现，持之以恒是关键。-- 郑州丰之茂工业气体有限公司