真空箱测漏设备常用指南「在线咨询」
科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;如果泄漏造成内外没有压差,外部潮湿气体有可能进入,而破坏氧化锌片特性,造成爆1炸。系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;真空环境模拟设备等-产品。今天科仪的小编就和大家分享一下-质谱检漏仪的主要配置有哪些,希望对您有所帮助!
1. 检漏仪-分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪-电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱-模块
-气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003,分子直径为2.18×10-10m,分子的为3.65×10-27kg,在标准状态下的密度为0.1769kg/m3,临界温度为5.25k,临界压力为2.26×105pa,1atm压力下的沸点为4.214k,熔点为0.9k,三相点温度为2.186k,三相点压力为51.1×10-2pa,在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k),在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k),在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s,1l液-气化为标准状态下的-气体积为700l。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束,以一定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。
-规定的瓶装-气按纯度高低分别为工业用-、纯-、高纯-三种。
1、工业用-:-含量***99%,露1点≤43℃.
2、纯-分三级:优等品-含量***99.995%;一等品-含量***99.993%;合格品-含量***99.99%。
3、高纯-分为三级:优等品-含量***99.9996%;一等品-含量***99.9993%;合格品-含量***99.999%。
-气在-质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用,纯度要求不高,一般选用工业用-,即-含量***99%,露1点≤43℃。
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-质谱检漏法是利用-质谱检漏仪的-分压力测量原理,实现被检件的-泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体-气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入-质谱检漏仪后,由于-质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的-气分压力信号值。清除时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对-的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。在获得-气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对-泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将-质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种-质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法-质谱检漏
采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用-罩或喷吹的方法在被检产品外表面施-气,当被检产品表面有漏孔时,-气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入-质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空-罩法。机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹-气,可以实现漏孔的准确定位; 真空-罩法采用有一定密闭功能的-罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的-气,可以实现被检产品总漏率的测量。
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