---真空概念
“---真空”完整名称是“---真空度”,是指微型真空泵能达到的真空度。
“---真空”,表示该状态下,没有任何物质包括分子、原子等存在,这只是理论上才存在的状态,实际是不可能达到的。
比如,某台抽气能力很弱的微型真空泵,它经过---长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100kpa降到95kpa,那么95kpa就是这台泵的---真空度,比如成都公司生产的pm950.2。再比如,有一台抽气能力很强的微型真空泵,它可以把气压由100kpa降到10 kpa,那么10kpa就是这台泵的---真空度,比如成都公司生产的vch1028。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在中国建立厂。
真空泵的使用范围
由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同,因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值,以供参用。
表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强
真空泵种类 工作压强范围pa 起动压强pa
活塞式真空泵 1×100000~1.3×100 1×100000
旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000
水环式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000
罗茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000
涡轮分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3
水蒸气喷射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
油扩散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×0.01 <1.3×100000
分子筛吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
溅射离子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1
钛升华泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1
真空泵故障检测方法
真空泵漏油、喷油
(1)转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈毁坏或装置不正确。应细心反省并调换玻损的密封圈,装置螺时,使劲要平均,
(2)因先后端面不平坦或端板未压紧,形成端面漏油。应将端面修平并压紧先后端板;
(3)进气口压强太高。应想法削减进宇量,
(4)箱体有漏孔。应反省谓孔部位并堵死,
(5)油量过量发生喷油,应放出过剩的油,
(5)排气盖下面的挡油网装反惹起喷油,应从新装挡油网;
(7)忽然---惹起喷油。应立即封闭低真空阀。
真空泵电机温度高的对策 电机功率、转速是和东莞真空泵相匹配的,不能更改。风扇安装于电机主轴上,电机转速决定了风扇转速,也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用,但叶片数量增加后,动平衡不容易找,如找正不好,会引起东莞真空泵电机振动增加。这些油还能减少排气腔内的有害空间,以消除它们对---压力的影响。
(1)将原风扇罩加长40cm,在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机,轴流风机电机功率850w,转速1489r/min,电压380v。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制,轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行,真空泵停运后30min停运轴流风机,以使主电机得到充分冷却;排气阀浸在油里以防止---流入泵中,油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔,使泵腔内所有运动的表面被油覆盖,形成了吸气腔与排气腔的密封,同时油还充满了一切有害空间,以消除它们对---真空的影响。
(2)定期清除电机上灰尘,保持电机散热片清洁,增加其散热能力;
(3)将真空泵所在母线电压调整为400v
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