SF6真空箱测漏系统厂家-「科仪-真空」

用-气作为-质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全-；价格低。

质谱检漏仪通常选择-气作示踪气体，主要原因如下：

1、-在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少在空气中约含5.2ppm，在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、-的小相对分子为4，易于穿过漏孔。这样，-较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、-是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在-两侧的是氢质荷比为2和双电荷原子碳质荷比为6，质荷比都与-相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找-峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的-离子通过，提高了仪器灵敏度。当在清洁、纯净空气中报警或不稳定时，应更换探头，具体探头步骤是如下：1确认本仪器处于关闭状态2逆时针旋下旧探头3顺时针旋上包装箱中提供的备用探头。

5、-在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使-信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能如小、易通过漏孔比-还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底-且波动大，以致灵敏度大-低，所以很少采用。

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-质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择

-质谱检漏仪厂家的-质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑：

(1)无害，不能对人体或环境造成伤害;

(2)轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;

(3)化学性质稳定，不会引起化学反应和易1燃易1爆;

(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。

氢和-都是比较理想的示踪气体，空气中的含量少，轻，运动速度快，分子直径小，同等条件下，直线运动距离长。在实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。由于he具有无色、无臭、无活性、不可燃的特性，因此一般检漏都采用-气(he)作为示漏气体，但也有用氢气(h)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是-气。4全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

今天科仪的小编和大家分享的是-质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询！

真空箱法-质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法-质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：-气储存罐(高压罐)，-气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充-回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2

2)、充-系统通过v2对工件进行充-至核定的压力，稳定，关闭v2

3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的-质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，打开v2对-气进行回收。

4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的-气回收,对真空箱和管道巾的-气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的-分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。

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