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制氮机有三种：膜分离制氮机，psa+纯化装置制氮机，psa制氮机：

膜分离制氮机：单位时间的产气量小(只适合配套单台炉)，可达到的氮气纯度较低(99.9％)

psa+纯化装置制氮机(即两步法)：先用psa生产出低纯氮(99.9％)，再用氢除氧(即不断输入氢气并燃烧，与低纯氮中的氧发生反应而得到高纯氮：h2+202=2h20)，这种制氮法故障率较高：psa的故障+氢除氧的故障。制氮机性能-：进口微电脑控制、全自动操作、无需要-训练的操作人员，只需按下启动开关，就可自动运转，达到连续生产氮气。氢除氧的主要故障点：点火装置，不能间断而且始终保持稳定流量的氢气。

制氮机技术原理

制氮机是以碳分子筛为吸附剂，利用加压吸附，解吸的原理从空气中吸附氧气，从而分离出氮气的设备。氢除氧的主要故障点：点火装置，不能间断而且始终保持稳定流量的氢气。 碳分子筛对o2、n2的吸附特性是随着吸附压力的增加，可使o2、n2的吸附量同时增大，且o2的吸附量增加幅度要大一些。变压吸附周期短，o2、n2的吸附远没有达到平衡，所以o2、n2扩散速率的差别使o2的吸附量在短时间内大大超过n2的吸附量。

电子行业所需要得制氮机

制氮机制作氮气的过程只需要几分钟，便可以获得高纯度的氮气。它是以空气为原料，由空压机对原料空气进行压缩与净化，然后进入精密过滤器组，包括螺旋，凝聚，表面这三级过滤，从而除去大部分的液态水和油污，然后进入冷冻式干燥机，除去大量水分，经处理的空气进入空气储罐，空气储罐可以降低气流脉动，起缓冲作用，从而减小系统压力波动。制氮机产氮气与罐装氮气不同点氮气的来源主要有两种：液态罐装氮，用制氮机产生氮气(直接从空气总提取氮气)。接着，经过净化干燥的压缩空气进入两个吸附塔，一个是加压吸附产氮，另一个是减压脱附再生，通过plc程序自动控制，从而使两塔交替循环工作，即可连续生产高纯度氮气。气体从吸附塔出来时的压强很大，进入缓冲罐，缓冲罐可以-气体压力，防止爆罐。此时从缓冲罐出来的即为高纯度氮气。

模块式制氮机特点：

1. 能、低空氮比、降低空压机需求，进而达到节能减碳效益。

2. 人机接口控制器(注一)，采用高分辨率屏幕，可实时表示进出口压力、出口氮气纯度及流量、故障记录簿等，并可依照现场实际使用状况，直接在控制面板设定参数，以达有效率之使用。