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废气处理塔体的上部为除雾段，气体中夹住的吸收液雾滴在此清除，处理后的清洁空气从废气净化塔的上端排气管排出到-中。废气收集-活性炭吸附塔-鼓风机-达标排放。活性炭吸附塔的油漆雾净化器由二级干式过滤器、一级油漆雾过滤棉和一级过滤器构成。漆雾过滤棉主要过滤从干式过滤器中逃脱的微粒子和进一步分离漆雾中的稀释剂。过滤器主要分离颗粒物，使颗粒物净化效率达到99%以上。

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有机废气主要来源于光刻、显影、蚀刻和扩散等工序，在这些工序中用有机溶液(如)清洗晶片表面，挥发产生的废气是有机废气的来源之一:同时，在光刻、蚀刻等过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的，如-丁酯等有毒废气主要来源于晶体外延、干法蚀刻和cvd等工序，在这些工序中应用(sih4)、磷烷(ph3)、四-碳(cf4)、、-化硼等多种高纯度特殊气体处理晶体，部分特殊气体具有性、窒息性和腐蚀性。

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