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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在-集成电路生产的光刻-工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
净化工程中空气净化处理方案:
●净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。
●净化空气调节系统设计应合理利用回风,凡工艺过程产生大量-且局部处理不能满足卫生要求,或对其他工序有危害时,则不应用回风。
●净化空气调节系统如需电加热时,应选用管状电加热器,位置应布置在空气过滤器的上风侧,并应有防火安全措施。
在对洁净室净化工程车间进行洁净度检测时,虽然规则了空气的小采样量,但在实际工作中,咱们应在-小采样量条件条件下,依据已有的检测设备,尽量选用大流量的尘土粒子计数器。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度,假如这些粒子不受非等动力条件的影响,则计算结果也不受影响。因此,净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有含义。
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