真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械

真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械
真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械特点：
真空3轴圆柱坐标型机械手臂svcr3000系列
双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘
相比lvhr系列机械手臂具有较好的-优势
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置和波纹管
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5μm级过滤器
控制通讯方式：rs232c及并口i/o方式
全轴采用2相步进电机
s曲线加减速控制方式能够高速，搬运半导体晶圆
可以选配2相步进电机规格
手指材质：cfrp(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指
真空3轴晶圆搬送机械臂基本参数：
手臂 单臂
到达距离 640mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴max行程 60mm
可搬运 10kg (手臂第3关节处基准)
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