5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂

5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂
5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂特点：
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂gtcr5000系列
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能
适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm
机械手臂可以单独对应2个foup210mm臂长
或者3个foup280mm臂长
双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
控制通讯方式：rs232c及并口i/o方式
全轴采用编码器规格的ac伺服电机
通过s曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化
能够高速，搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：cfrp(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指
5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂基本参数：
使用环境 洁净间内的环境
手臂 单臂
到达距离 553mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴max行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬运 4kg (手臂第3关节处基准)
了解更多：
5轴水平多关节型晶圆搬送机械臂相关产品：
衡鹏供应
晶圆搬送机械臂_真空3轴圆柱坐标洁净机械手
防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂

联系时请说明是在云商网上看到的此信息，谢谢！
联系电话：021-51028885，18221665509，欢迎您的来电咨询！

本页网址：https://www.ynshangji.com/xw/23639775.html

推荐关键词： 锡膏, 助焊剂, 焊接机器人, 粘度计, 烙铁头

声明提示：

本页信息（文字、图片等资源）由用户自行发布,若侵犯您的权益请及时联系我们，我们将迅速对信息进行核实处理。