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真空箱式-检漏设备保养常用指南「科创真空」
真空箱法-质谱检漏的充气回收检漏系统
1．配置与气路控制
真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。
工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：-气储存罐(高压罐)，-气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、plc系统(可编程逻辑控制器)，充-回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、v4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭v1，打开v2
2)、充-系统通过v2对工件进行充-至核定的压力，稳定，关闭v2
3)、关闭v4，打开v3、v5，处在正常工作状态待命的-质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断v3、v5，打开v2对-气进行回收。
4)、关闭v2打开v6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的-气回收,对真空箱和管道巾的-气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的-分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。
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-质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。真空箱式-检漏系统概述本设备适用对充气环网柜以下简称工件进行真空法检漏。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的-离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和-气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。同时利用r22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的sf6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。常规系统多用于早期的-质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，-气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
气密性检测是-产品，出产安全的重要工序，在出产过程中的效果现已收到了广泛-，应用领域也越来越广。检漏设备能够广泛应用于各行业，可对各种有气密性检测要求的产品进行检测实验。
气密性检测可按测验手法分为两大类，一类为水没式走漏检测法，即在向工件腔内充进必定压力的气体时，将其浸人水中或涂肥皂泡，依据目测肥皂泡或水中的气泡来断定工件是否有漏及走漏的程度.现在,这种办法在冰箱、空调的密封管道以及箱体检漏时仍遍及选用。这种办法测验功率低，受主观因素影响较大，无-量丈量，一起用这种办法测验后，还有-对工件进行枯燥和防锈处理。结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。
检漏设备主要是用净化枯燥空气为作业介质对具有必定内容积的腔体的密封功能检测，亦能够选用串联、并联办法做其他检测。但不能够直接对气-液相二相流改组、气-固相二相流改组进行检测，不然有或许得出不正确的测验成果或许对仪器形成不行修正的危害。
检漏设备时刻参数的设定决议了检测节拍，应在满意检测需求的情况下尽量缩短，以进步功率。充气时刻能够参阅检测曲线，一般设定为能到达设定压力后再添加1~2秒。b1：若a1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止。平衡时刻调查直压面目一新率稳定在某个值后即可，检测时刻-之选用速率办法一般设定为能调查到显着压降曲线的时刻。
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