爱发科VDN901油旋片真空泵莱宝真空泵滤芯 明胜机电真空泵

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真空系统维修方法之:压力检漏法中的气泡检漏法　　

气泡检漏法就是在被检件内充入一定压力的示漏气体，然后放到液体中，如果有漏孔存在，气体就会通过漏孔进入周围的液体形成气泡，从而确定漏孔位置。-是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的-设备。同时根据充入气体的压力，气泡形成的速率(每秒钟形成的个数)、大小(气泡直径)，结合气-体的性质来大致估算漏孔的漏率。气泡检漏法方法简单、直观、经济，但因为需要往被检件内充入气体，所以适用于能承受正压的被检件的气密性检验。