揭阳大型磁控溅射镀膜机厂家报价「多图」

如何保养镀膜机才能寿命更长？

真空镀膜机就是：蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程散点－岛状结构-迷走结构-层状生长形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。

那么在使用的同时，我们怎么去保养他，爱护它，从而让他寿命更长呢？

一般扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入-，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水-清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，真空镀膜设备便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气-后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。

方法是：用naoh饱和溶液反复擦洗真空室内壁，注意人体皮肤不可以直接接触naoh溶液，以免灼伤目的是使镀上去的膜料铝al与naoh发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。

当粗抽泵滑阀泵，旋片泵连续工作一个月雨季减半，需更换新油。

方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量油视镜观察。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

真空镀膜机冷却配套冷水机的作用

真空镀膜机冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜机器的温度，使其工作达到、率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下，自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的。因此，可以说冷水机是真空镀膜设备中非常重要的配套冷却设备，因为冷水机直接关系到真空镀膜机工作效果的好坏。

真空镀膜机为什么要配套冷水机？

这个要从真空镀膜工作原理查看：膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽，结合力也很差。

冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统，水温在5℃～30℃范围内调节控制，可以达到、率控制温度的目的。其冷却原理是：制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜机进行降温，冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，达到冷却的作用。

维修真空镀膜机一定要按照步骤操作

日常生活中，我们使用真空镀膜设备都会维护，但是很多人维护的方法都很不对，也不按照步骤来拆卸和安装真空镀膜机，今天我们就来介绍下真空镀膜机的维护步骤吧：

首先我们要-镀膜机与地面充分接触，扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作，维持泵半小时后才能关，1小时后断水，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。

扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与-接触，以免泵油氧化，定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，-设备冷却水供水畅通，在拆装镀膜机各机件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以-镀膜设备密封性能-。

设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗，必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入，决不能用其他油品代替。