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-质谱检漏仪是根据质谱学原理，用-气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。-质谱检漏仪的特点：检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；一般检漏都采用-气(he)作为示漏气体，但也有用氢气(h)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是-气。

检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上-气在真空系统中的传递时间，即为两次喷-的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。-气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格-气进行提纯，-降低-气损耗功能可选；质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的-气相互碰撞使其电离成正离子，这些-离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

-质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；-质谱检漏仪是用示踪气体-气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，-质谱检漏仪成为化工管道检漏的-的选择。质谱检漏仪之间使用金属软管连接。-质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。