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---质谱检测仪的标准器选择

北京科仪真空技术有限公司生产---质谱检漏仪，今天科仪的小编就大家来分享一下---质谱检漏仪的标准器的选择，希望对大家有所帮助！

标准器 采 用 渗 --- 型 标 准 漏 孔，漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) pa·m3 /s，不确定度不大于 10% 。

精密玻璃温度计，测量范围(0 ～ 50) ℃ ，不确定度 u = 0. 04℃ ，k = 2。

---质谱检漏仪的检漏方式有那些

---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。---气检漏仪---气检漏仪是---质谱检漏仪((heliummassspectrometerleakdetector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

---质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，---质谱检漏仪可达1000pa一般常规检漏仪为0.05pa以下，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝---等优点。

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用---气作为---质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---；价格低。

质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体，主要原因如下：

1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少在空气中约含5.2ppm，在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、---的小相对分子为4，易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、---是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在---两侧的是氢质荷比为2和双电荷原子碳质荷比为6，质荷比都与---相差较大。另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸枪检漏提供了---的条件。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找---峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的---离子通过，提高了仪器灵敏度。

5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能如小、易通过漏孔比---还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底---且波动大，以致灵敏度---降低，所以很少采用。

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