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-质谱捡漏仪检漏方法

-质谱检漏仪，用-气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。在质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的-气相互碰撞使其电离成正离子，这些-离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。