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　然而对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应

符合以下原则：

　　1、洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

　　2、相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

　　3、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

　　压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

洁净厂房使用验收后，应编写使用验收报告，其主要内容有：

1 洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;

2 测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;

3 分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、座标等);

4 测试仪器的有效校验-;

5 验收出具相关结论。

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对于半导体工业而言，无尘室是一-且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对-、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消毒的-及化学-，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。