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四.抛光液检测之加工工艺分析

1.抛光槽可采用普通钢板制作，内表面需刷防酸涂料，外表面焊嵌散热片。再将该槽放入冷却槽内。冷却液采用自来水， 可与水洗槽相接。避免浪

费。

2.工件必须在抖动过程中抛光.应尽量避免工件重叠，-时可加纱网隔开。

3.过滤:是指循环过滤。 可采用膜片式pp材料过滤机，两套滤芯，-套使用，另-套清洗备用。 若不过滤反应生成物，任其附着在工件表面将会

影响终的光亮度。

聚胺脂抛光片打孔的优点  为了增加抛光液的流动性、提高抛-率，采用打孔类型的聚胺脂抛光片，一般孔的大小为2mm左右，根据镜片口径的大小、设备的转速、r值的不同，孔的排列形式分为90度、60度、45度，更适用于球面加工。

聚胺脂抛光片带背胶的优点  聚胺脂的粘结要选用流动性比较好的胶，有冷胶和热胶两种，如果胶层不均匀带来抛光片的不平整，而造成抛光的光圈不稳，所以采用带背胶的抛光片能达到胶层均匀，一般带背胶的聚胺脂抛光片多用平面加工。

在晶圆(芯片)制造过程中(见图1)多次使用cmp工艺。

化学机械抛光过程(见图2)使用安装在刚性抛光平盘上的柔性抛光垫，硅片被压在抛光垫上，在抛光液的作用下进行抛光，抛光液含有化学液(即h2o2)和纳米磨料。硬的硅基陶瓷材料由磨料的机械作用抛光，而金属则由金属和抛光液内的化学物质之间的化学反应进行抛光，即采用化学与机械方法综合作用去除多余材料而得到平坦化的高表面。