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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和有害气体的洁净室，被排介质毒性大的、有易1燃易1爆气体的岗位，应单独设局部排风系统。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。

洁净车间技术的兴起，使电子、食品、精细化产业的净化车间技术，得到了进一步的提升。静态洁净室：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室设施，但是设施内没有操作人员。在洁净车间技术发展中，它与许多行业和学科密不可分，具有自己的特点。我们必须学习和吸收各行业、各学科的成就、经验和优势。善于根据自身特点，充分发挥和积极调动各领域的科技人员。

净化工程洁净车间技术是一个新兴的科学技术领域，是近些年来，根据企业生产发展和产品竞争力所需要的一门跨学科、跨部门的综合性科技新分支。过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。运输过程中应轻拿轻放，防止剧烈振动和碰撞。静态洁净室：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室设施，但是设施内没有操作人员。