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---质谱检漏方法

---质谱检漏方法是基于---质谱检漏仪的---分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，---和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。 当泄漏气体进入---质谱泄漏检测器后，由于---质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中---的分压信号。 在获得---气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到---气的泄漏量。

---泄漏检测应用

生产零件的控制使用---检漏仪的组件有助于---生产过程的完整性。典型的例子包括:密封包装、阀门、歧管、密封件、真空容器和系统、、高纯度管道、制动管路、燃油管路、液压管路、制冷组件、散热器、热交换器、冷凝器、储罐。

系统维护

使用真空系统或压力系统的工业过程工具必须进行测试，以检查偶尔的泄漏。这可能是预防性维护的一部分，也可能是意外故障的一部分。因此，在测漏过程中采用较高的测试压力，可有效检测出在实际运行中未出现的漏孔。真空系统的典型例子包括:真空炉、真空涂布机、电子显微镜、手套箱、线性、电子束和离子束加工设备、半导体加工设备、激光加工设备。加压系统的典型例子包括:发电厂、气体处理系统、生物反应器、液化气设施、地下储罐、地下电缆和管道。