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VARIAN真空分子泵维修-「在线咨询」

发布者:广州潽拓光电科技有限公司  时间:2021-11-19 






我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),boc edwards,osaka,ulvac,shimadzu等-品牌分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。要把真空泵油更换掉,将泵从系统上拆下,用干净的方盘接在放油孔下。

5大防腐特性

嵌入式75°c加热系统

惰性气体吹扫

5轴控制

自动平衡系统

高通量应用

ath 400 m,ath 1000m,th1300m 是专为高压、

高通量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。

紧凑而现代的设计

高平均-时间

使用成本低

可调节转速以优化抽气时的参数

低噪音低振动

无需电池



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广州潽拓光电科技有限公司——

        varian tv-301 navigator分子泵,瓦里安tv-301 navigator进气法兰口cf8/iso160,出气法兰口kf16/kf25,抽速可达到280l/s,转速为56000rpm ,金华杰精修varian 瓦里安/agilent安捷伦全系列分子泵。ds旋片泵符合欧盟(ce)和--(rohs)要求,并且所有泵均通过ul和加拿大标准协会(csa)。





发展真空技术,助力半导体行业我国是大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与-设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。其业务优势在于利用测量科技研制出可以感知、分析、显示和交流数据的新产品。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程-部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,中科科仪积极响应需求,承担科技部《-规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,-多项关键技术,于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵,-国外产品垄断。varian真空分子泵维修



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