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各种不同的真空泵在真空系统中所起的作用

由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面。

1、在系统中做主泵

所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。

2、粗抽泵

粗抽泵是指从-压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。

3、前级泵

前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其许可的前级压强以下的真空泵。

水环真空泵在使用时应注意

启动运行

1.打开进气管路上的进气阀。如果排气有排气阀的话必须全打开排气阀。

2.开启供水阀，直到水自动从平衡排水管泵盖盖板上的阀门路流出，使泵具备正常的启动水位，即可开泵，如不开泵要暂时关闭供水阀。

3.不允许在无水或少水和满水的情况下启动.

4.启动电机，泵运转，同时逐渐开启供水阀，根据真空表读数调节供水阀和进气阀，使被抽系统的真空度、吸气量达到生产的要求。

在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵，才能让真空泵既能够满足工艺要求，同时又能够长期稳定的运行，延长真空泵维修维保时间，节约运行成本，-生产设备的生产效率，-设备产能。

在cvd、pecvd、ald等工艺中，真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺，这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶，如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外，就容易在真空泵内沉积，堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞，需要及时下机保养和维护，否则的话就会造成真空泵的的损坏，但是干式泵的维护成本又比较昂贵，选择一台耐粉尘，维保周期长的真空泵是非常重要的。

真空泵分类：

液环泵；虽然液环泵属于粗真空泵，但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、等领域仍然有着很大的市场。液环泵工作原理在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵，由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提，降低能耗。中央真空系统供应商