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真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、mbe分子束外延镀膜机和pld激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。
对于真空镀膜机设备而言,真空泵是获得真空环境不可缺少的一部分,制造商每次制造真空镀膜设备时都会搭配一个或多个真空泵。
真空镀膜机在选择如何选择真空泵时,应注意以下事项:
1.真空泵的工作压力必须满足真空设备的-真空和工作压力要求。
2.正确地选择真空泵的工作压力。每种泵都有一定的工作压强范围,
3.真空泵在工作压力下,应能排出真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4.真空泵的正确组合有选择性吸入,所以有时选择一种泵也不能满足进气要求,必须与几种泵结合,互相补充,才能满足进气要求。
真空设备定制|真空设备的适用范围,真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类
真空镀膜设备选购因素
1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
大型工件:汽车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等
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