脉冲激光沉积装置厂家来电咨询「在线咨询」
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脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,从而形成薄膜。
脉冲激光沉积,是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材,生成与靶材组成相同的薄膜。pld 的-之处是能量源脉冲激光位于真空室的外面。bluewave还提供相关系统配件,例如基片加热装置、原位监测工具。这样,在材料合成时,工作压力的动态范围很宽,达到10-10 torr ~ 100 torr。通过控制镀膜压力和温度,可以合成一系列具有-功能的纳米结构和纳米颗粒。
另外,pld 是一种“数字”技术,在纳米尺度上进行工艺控制a°/pulse。
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沈阳鹏程真空技术有限责任公司——脉冲激光沉积供应商,我们为您带来以下信息。
【设备主要用途】
pld450a型脉冲激光沉积设备采用pld脉冲激光沉积技术,用于制备高温超导薄膜、半导体膜、铁电薄膜、硬质薄膜以及微电子和光电子用多元氧化物薄膜及异质结,也可用于制备氮、碳、硅化合物及各种有机—无机复合材料薄膜及金刚石薄膜等。
【设备优点】
设备全程采用一键式操作抽气,关机,程序自动化定时操作。避免了繁琐的角阀,插板阀人工开启。
【设备主要组成】
设备由沉积腔室单室球形或圆筒形、样品加热转台、激光入射转靶、激光窗、电源控制系统、激光束扫描系统、计算机控制转靶的旋转、脉冲准分子激光器等组成
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