但是靶材制作困难,这是因为氧化铟不容易烧结在一起。而利用热膨胀系数小,导热强、高温强度好的钼或钼基合金,模具寿命大幅度延长。一般采用zro2、bi2o3、ceo等作为烧结添加剂,能够获得密度为理论值的93%~98%的靶材,这种方式形成的ito薄膜的性能与添加剂的关系-。日本的科学家采用bizo作为添加剂,bi2o3在820cr熔化,在l500℃的烧结温度超出部分已经挥发,这样能够在液相烧结条件下得到比较纯的ito靶材。而且所需要的氧化物原料也不一定是纳米颗粒,这样可以简化前期的工序。
根据电解质的种类可分为氯化物熔盐体系和-物-氧化物熔盐体系电解法,多用于制取以-为主的混合稀土金属以及-、镨、钕等单一稀土金属。如各种器件都需要起到导电作用的金属布线,例如al、cu和ag等已经被广泛的应用和研究。熔盐电解法为连续性生产过程,产量较大,设备简单,成本较低,但电解槽需用耐高温氯化物或-物腐蚀的结构材料制造。
还原制得含稀土99%的稀土金属经真空精炼(包括真空蒸馏或升华)、电传输、区域熔炼、熔盐电解精炼等方法处理除去非稀土杂质后,可获得纯度超过99.9%的稀土金属产品。
溅射靶材ito靶材的生产工艺 ito靶材的生产工艺可以分为3种:热等静压法(hip)、溅射靶材热压法(hp)和气氛烧结法。各种生产工艺及其特点简介如下:
热等静压法:ito靶材的热等静压制作过程是将粉末或预先成形的胚体,在800℃~1400℃及1000kgf/cm 2~2000kgf/cm 2的压力下等方加压烧结。纳米、nm纳米技术、纳米材料是当代科技领域中的-名词,已经成为现实和潜在的-的应用前景的纳米银线,已在山东、浙江、北京等地进入人们的视野,并进入国际市场,如果按照银的当前价7元/克计算的话,纳米银线的价格将是银价的350倍以上。热等静压工艺制造产品密度高、物理机械性能好,但设备投入高,生产成本高,产品的缺氧率高。
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