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-质谱检漏仪的工作原理

今天科仪的小编和大家分享的是-质谱检漏仪的工作原理，希望对您有所帮助！

-质谱检漏仪是一种以-气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体-气有响应信号，而对其他气体没有响应，从而检漏。-质谱检漏原理-质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体-气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。

-质谱检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法

-质谱检漏仪原理的-质谱检漏仪特点：

1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；

2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

3.不会受到主观因素判断的影响；

4.检测的数据-；

5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。

-质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面：

1便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

2高压强下检漏：检漏口压强可-数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

3自动化程度高：自动校准-峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

4全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测-气，而且能检测其它气体。

-质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。-质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。笔者-，在测试到数量级为10-9pa?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟。