VARIAN分子泵维修分子泵用途 广州潽拓光电科技

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广州潽拓光电——出售agilent安捷伦turbo-v903涡轮分子泵及维修

真空泵的维修

旋片真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染-、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为，

1、切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境;

3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等;

5、将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等;

6、取下视镜、排气阀、排气盖等;

7、装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装定位销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应-转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件，如气镇装置等。

agilentturbo-v903安捷伦涡轮分子泵进气法兰口iso160f，出气法兰口kf25，抽速可达到680l/s

我公司提供－pfeiffer， leybold，alcatel ，爱德华，varia，seiko seik，shimadzu，agilen，osak等-品牌的真空涡轮分子泵，复合分子泵，磁悬浮分子泵，分子泵机组，分子泵电源，分子泵控制器，分子泵驱动器，-气检漏仪，质谱仪的维修、保养、销售等服务。需要维修的真空泵，如果客户方没有真空泵暂用，我司可以提前寄出备用泵给客户方，以-不会影响正常的生产，待真空泵维修好，经检测-合格后，再把备用泵退回我司。

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),boc edwards,osaka,ulvac,shimadzu等-品牌分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。该泵的双级设计使其可以在较低工作温度下使用，并da限度减少低压强造成油蒸汽的回流现象，同时在10-2mbar的低压范围内具有-的抽气速率和气镇效果。

广州潽拓光电——varian tv551质谱仪分子泵维修服务

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薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积cvd、蒸发和溅射pvd。一般来说，其中还要夹杂低温≤500℃退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。55kva，日本岛津ei-d303m磁悬浮分子泵电源可以控制的分子泵有shimadzutmp-303m/mc、tmp-303lm/lmc等。 varian分子泵维修