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蚀刻注意的问题
提高整个板子表面蚀刻速率的均匀性 板子上下两面以及板面上各个部位的蚀刻均匀性是由板子表面受到蚀刻剂流量的均匀性决定的。 蚀刻过程中,上下板面的蚀刻速率往往不一致。一般来说,下板面的蚀刻速率高于上板面。因为上板面有溶液的堆积,减弱了蚀刻反应的进行。可以通过调整上下喷嘴的喷啉压力来解决上下板面蚀刻不均的现象。蚀刻印制板的一个普遍问题是在相同时间里使全部板面都蚀刻干净是很难做到的,板子边缘比板子中心部位蚀刻的快。采用喷淋系统并使喷嘴摆动是一个有效的措施。更进一步的-可以通过使板中心和板边缘处的喷淋压力不同,板和板后端间歇蚀刻的办法,达到整个板面的蚀刻均匀性。 提高安全处理和蚀刻薄铜箔及薄层压板的能力 在蚀刻多层板内层这样的薄层压板时,板子容易卷绕在滚轮和传送轮上而造成废品。所以,蚀刻内层板的设备必须-能平稳的,-地处理薄的层压板。许多设备制造商在蚀刻机上附加齿轮或滚轮来防止这类现象的发生。-的方法是采用附加的左右摇摆的聚四氟乙烯涂包线作为薄层压板传送的支撑物。对于薄铜箔(例如1/2或1/4盎司)的蚀刻,必须-不被擦伤或划伤。薄铜箔经不住像蚀刻1盎司铜箔时的机械上的弊端,有时较剧烈的振颤都有可能划伤铜箔。视网危险区之外的电磁波,包括紫外线和长波红外线(far infrared),则可能使眼睛的前方部分-。有些波段会伤害水晶体(lens),295nm至320nm以及1μm至2μm的辐射尤其-。波段相当广的紫外线,以及波长大于1400nm的红外线,可能伤害膜。只伤及膜表皮时,一两天内就能修复,而使视力完全恢复。如果膜的较深层部位发生-伤害,会造成膜瘢痕(corneal scar),而导致失明。
红外线的组织穿透-(penetration depth)方面,1,440 nm(如某些半导体激光)、1,540 nm(如铒-玻璃激光)、2,100 nm(如钬-雅克激光)均大于10,600 nm(-激光),所以者造成性伤害的危险性比较高[1]。308 nm的氯化氙(xecl)激光束,会使水晶体立即产生(cataract),所以还具有额外的危险性。(argon)、离子(krypton)、ktp倍频(double frequency)、铜蒸汽(copper vapor)、金蒸汽(gold vapor)、-(heliun-neon)、钕-雅克(nd:yag)等激光,对于视网都具有潜在危险性。铒-雅克(er:yag)、铒--钇锂(er:ylf)、钬-雅克(ho:yag)、(hf)、-(co2)、(co)等激光,则对膜有危险性。
喷淋式蚀刻、速度快、精度高,适合于有一定批量的生产,生产易于实现自动化控制,但是设备投入大,同时也不适宜对异形工件及大型工件的蚀刻;侵泡式蚀刻设备投入小,蚀刻化学蚀刻方便,使用工件范围广。
工件形状及大小:
对于大型工件由于受设备-,采用喷淋式蚀刻难于进行,而侵泡式就不会受工件大小的影响。工件形状复杂,在喷淋时有些部位会出现喷淋不-的情况而影响蚀刻的正常进行,而侵泡式由于是将工件整个侵泡在蚀刻液中,只要保持溶液和工件之间的动态,就能--工件的各个部位都能充满蚀刻液并进行新液与旧液的连续更换,使蚀刻能正常进行。
对于不大的平面或近乎平面的工件如果条件允许,采用喷淋式蚀刻不管是效率或是精度都优于侵泡式蚀刻。所以,对于批量大、工件大小适中、形状简单的平面形状的工件以采用喷淋式为;如果工件外形较大,难以采用蚀刻机,工件形状复杂,批量不大,这式以采用侵泡式为宜。
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