天津环境场扫描电镜分析-「九鼎」
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束
电磁透镜
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的sem来说是的。通常组装两个组:
会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常-一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。
物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。
扫描电镜的结构及工作原理
台式扫描电镜与传统的大型扫描电子显微镜相比,台式扫描电子显微镜具有体积小、操作简单、价格低廉、抽真空速度快等优点。台式扫描电子显微镜的分辨率可以满足大多数材料的显微观察。台式扫描电镜填补了光学显微镜与传统大型扫描电镜之间的分辨率的空白,可广泛应用于材料科学、纳米粒子、生物医学、食品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。接下来泽攸小编将主要介绍一下扫描电镜的结构及工作原理。
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射,而其余电子则穿透样品,逐渐失去动能,在z后停止运动,被样品吸收。在这个过程中,99%以上的入射电子能量转化为样品热能,剩余约1%的入射电子能量激发样品的各种信号。如图1所示,这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、x射线等。扫描电子显微镜设备使用这些信号来获取信息来分析样品。
未镀膜的绝缘样品几种方法
未镀膜的绝缘样品几种方法:
1、低电压操作--在反射率和二次电子产额等于1之间的电压下操作,对于钨灯丝扫描电镜,电子束亮度相对高电压会降低几十倍,而且电子光学系统的像差亦会变大,这需要考虑扫描电镜的潜能。
而对于场发射扫描电镜来说,在低加速电压下,也可以获得好的分辨率;在样品表面增加离子,中和表面累积电荷,可采用低真空样品室,获得等离子气体;含水样品可以采用冷冻台,直接观察,有赖于样品中的水分有足够的电导率。
2、成分像或者原子序数反差:
当我们需要研究弱反差机制两个相之间的平均原子序数相差很小的时候,需消除样品形貌的反差影响。对样品进行抛光。
3、wds化学元素显微定量分析:需要非常光滑的表面,机械抛光,电解抛光,化学处理等等。
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