订制真空腔体报价信息「沈阳鹏程」

沈阳鹏程真空腔体制造技术

提供设备腔的定-务，腔体的外形和开口可以根据用户要求进行设计。

表面分析腔有通用腔体，用户也可以在通用腔体的基础上进行自定义设计。

手套箱和焊接箱于熔炼或焊接钛、锌等对易在-中氧化的材料。

真空密封颈是基板和钟形罩之间的过渡组件，它可以提供额外的高度和更多的自由端口。

装载锁定室是建在主腔体上的-制作小腔体，可在不破坏主腔体真空度的条件下，将样本、晶片或其他组件从外部-环境移动到内部高真空环境中。

真空腔体烘烤注意事项

真空腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进-时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高，腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给ti丝通电加热，但又控制温度在ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，以-钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少，系统的真空度会迅速好转。

新完成的腔体一次烘烤时，一般需要一周时间，重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了更准确地测量真空度，停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话，烘烤后真空度可提升几个数量级。

真空腔体中抽气管道的设计原则

工艺室的抽气速率将低于泵入口的抽气速率，相差多少取决于抽气管道的属性(例如长度和尺寸)。尽量降低工艺室和泵入口之间的压力差就可以使抽气速率损失减到少。

显然，抽气管道的属性对于性能十分关键。此时还需要考虑其它因素：流导。

我们采用流导(阻力的倒数)这一术语来定义“管道传递流动的能力”。流导的计量单位是每单位时间的体积并且和抽气速率的单位相同。工艺室抽气速率(s)可用抽气管道流导(c)和应用泵速(sp)计算，如下所示：

s = (sp*c)/(sp+c)

当c远远大于sp时，则s近似为sp；当sp远远大于c时，则s近似为c。真空腔体

工艺室的抽气速率始终低于应用泵速而且低于抽气管道中部件的小流导(通常为小直径)。

在某种程度上管道短而粗是好的

采用短的大直径抽气管道尽量提高管道流导是-的做法，但只限于当抽气速度s接近泵速(sp)极值的情况。

除此之外，通过增加管道直径(成本也会相应增加)来增加流导并不能-提高工艺室抽气速率；换而言之，如果抽气管道流导受限并且由于物理因素不能增加，当(s)接近管道流导(c)极值，一味通过增加应用泵-提高工艺抽气速度也是不经济的。