天津不导电样品电镜分析-「多图」

扫描电子显微镜(sem)之样品导电膜的制备技术

扫描电子显微镜sem之样品导电膜的制备技术

理想膜层的特点

-的导热和导电性能。

在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点，避免引入不-的人为图像。

不管样品的表面形貌如何，覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

膜层对样品明显的化学成分产生干扰，也不显着的改变从样品中发射的x射线强度。

这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能，导电金属膜层的厚度普遍电位在1-10nm。

导电膜制备技术

在样品表面形成薄膜有多种方法，对于扫描电镜和x射线显微分析，只有热蒸发和离子溅射镀膜实用。

蒸发镀膜：许-属和无机绝缘体在真空中被某种方法加热，当温升足够高蒸发气压达到1.3pa以上时，就会迅速蒸发为单原子。

扫描电子显微镜的优点介绍

扫描电子显微镜的优点： 扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞 放大倍数较高，20万～20万倍连续可调； 具有大景深、大视野、立体影像，可直接观察各种样品的凹凸不平表面，精细结构； 样品制备简单。 目前的扫描电子显微镜配备了x射线能谱仪装置，既可以观察微观结构，又可以分析微观区域的成分。因此，它是当今非常有用的科研仪器。

台式扫描电镜进行动态观察

　　在台式扫描电子镜中，成像信息主要是电子信息根据现代电子工业的技术水平，即使是高速变化的电子信息，也能不费吹灰之力地及时接收、处理和储存因此，可以进行一些动态过程观测如果样品室配有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀附件，则可通过电视装置观察相变和断裂强度的动态变化过程。

　　台式扫描电镜观察试样表面形貌

　　从试样表面形貌获得多方面资料，不仅可以利用入射电子与样品相互作用产生的信息进行成像，还可以通过信号处理方法获得各种图像的特殊显示方法，从样品的表面形貌中获得各种信息由于扫描电子图像不是同时记录的，它是由近百万条记录逐个组成的因此，除了观察其表面形貌外，sem还可以分析其成分和元素通过电子通道花样进行结晶学分析，选择的面积大小可以在10μm到3μm之间。