电力中高压电力环网柜真空箱检漏系统生产基地「科仪-真空」

-质谱检漏仪的应用拓展一

例如火箭发动机及姿态发动机，过去是-刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用-质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与-罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而-了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、-罩法、累集法等几种方法的结合。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比m/e的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。

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-质谱检漏仪的原理

-质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以一定能量注入质分析器，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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-质谱检漏仪常用检漏方法及标准

-质谱检漏法是利用-质谱检漏仪的-分压力测量原理，实现被检件的-泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体-气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入-质谱检漏仪后，由于-质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的-气分压力信号值。4全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。在获得-气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对-泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将-质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种-质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法-质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用-罩或喷吹的方法在被检产品外表面施-气，当被检产品表面有漏孔时，-气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入-质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空-罩法。-质谱检漏仪的进展1便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹-气，可以实现漏孔的准确定位; 真空-罩法采用有一定密闭功能的-罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的-气，可以实现被检产品总漏率的测量。