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美国瓦里安varian　979型便携式检漏仪的优点：

1979型检漏仪可以提供两种基本的形式：标准灵敏和高灵敏度。

2将**电子线路与---*的多通道设计的分子泵真空系统结合成一体，因此运用灵活且易于操作；同时它结构紧凑，灵敏度高，测试口耐压高，可满足广大的应用领域。

3可以使用两种方法检漏：---质谱检漏仪真空检漏法，---质谱检漏仪吸嘴法。

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薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积cvd、蒸发和溅射pvd。一般来说，其中还要夹杂低温≤500℃退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。-耐粉尘leyboldturbovac361涡轮分子泵的实拍图片，。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。 varian涡轮分子泵控制器