张家港无尘室设备定位安装方案服务「在线咨询」

     空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器hepa进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。在电子元件制品的制造过程中，微粒子污染对成品率有重大影响，故应在过程中严格控制微粒子的数量，遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别换气次数越多，净化级别越高。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。

     复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。⑴洁净隧道clean tunnel：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。

     若能-实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。厂址应设在自然环境和水质较好,-含尘浓度较低,地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域,应远离大量散发粉尘、烟雾、有害气体和微生物的区域,如机场、铁路、码头、交通要道等,并在污染源和全年-风向的上风侧面,且有一定的防护距离。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。-性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。

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