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典型涡轮泵应用
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到较佳性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。我们将会安排----为您提供免费的技术指导和全套满意的方案。twistorr 304 fs 泵---的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜,这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成,是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积cvd、蒸发和溅射pvd。可以看出,涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,分子泵的---部件是旋转叶片和固定叶片。一般来说,其中还要夹杂低温≤500℃退火工艺等热处理工艺,用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境,一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。 varian分子泵代理
发展真空技术,助力半导体行业我国是大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与---设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程---部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。varianturbopumpcontrollersv-60常见用于较老款半导体设备上。面对“卡脖子”问题,中科科仪积极响应需求,承担科技部《---规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,---多项关键技术,于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵,---国外产品垄断。varian分子泵代理
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