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北京图像级半固态激光雷达-服务放心-「多图」
因为mems扫描镜是一种硅基半导体元器件，属于固态电子元件；但是mems扫描镜并不“安分”，内部集成了“可动”的微型镜面；由此可见mems扫描镜---“固态”和“运动”两种属性，故称为“混合固态”。可以说，mems扫描镜是传统机械式lidar的---者，带领lidar小型化和低成本化。其取消了机械式激光雷达的机械旋转结构，利用mems微振镜，将所有的机械部件集成到单个芯片，利用半导体工艺生产。基于mems的固态雷达，是通过微振镜的方式改变单个发射qi的发射角度进行扫描，由此形成一种面阵的扫描视野。目前基于mems方式的激光雷达，技术上更容易实现，且价格也比较低廉，有很多的厂家在研发，也因此被主机厂商一致---。
激光雷达将激光光学和---光学有效结合，协调融合了传统雷达、光机电一体化和电算等技术，对物理学的各大领域都有所涉及，是物理学的应用技术之一。目前激光雷达家族庞大，分类标准也很多，可以按搭载激光器、功能用途、探测技术等标准进行不同的分类。
由于激光雷达的分辨率和灵敏度高、抗观测背景的干扰性强，能够实现全天时观测，可以广泛应用在环境监测、地形测绘、高空探测、-应用、民用汽车等领域。
相控阵技术是mems实现激光雷达功能的另一个解决方案，其基本原理是，mems的微小移动产生光程差，多个具有不同相位的出射光束在远场干涉形成光束偏转。韩国byung-wookyoo等人的研究小组对此方案进行研究，如图6所示，在硅基上制备具有8×8高对比光栅的mems结构相控阵，优化的性能表现为10v电压即可产生1.7π的相移，具有0.5mhz的响应速度，采用透镜系统扩大视场，测量得到远场总视场角为9.14°×9.14°。
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