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脉冲激光沉积装置报价常用指南「多图」

发布者:沈阳鹏程真空技术有限责任公司  时间:2021-11-28 






脉冲激光沉积的优点

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1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有-的保成分性;

2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;

3. 工艺参数任意调节,对靶材的种类没有-;

4. 发展潜力-,具有-的兼容性;

5. 便于清洁处理,可以制备多种薄膜材料。



脉冲激光沉积简介

脉冲激光沉积,就是将激光-于靶材上一个较小的面积,利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离,使其能够脱离靶材而向基底运动,进而在基底上沉积,从而形成薄膜的一种方式。 在众多的薄膜制备方法中,脉冲激光沉积技术的应用较为广泛,可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、-物及-物等各种物质薄膜,甚至还用来制备一些难以合成的材料膜,如金刚石、立方氮化物膜等。【设备优点】设备全程采用一键式操作抽气,关机,程序自动化定时操作。

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脉冲激光沉积发展前景

由脉冲激光沉积技术的原理、特点可知,它是一种-发展潜力的薄膜制备技术。随着辅助设备和工艺的进一步优化,将在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥重要的作用;脉冲激光沉积细节介绍很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧气压力>。并能加快薄膜生长机理的研究和提高薄膜的应用水平,加速材料科学和凝聚态物理学的研究进程。同时也为新型薄膜的制备提供了一种行之有效的方法。

沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年脉冲激光沉积行业经验,-脉冲激光沉积研发定制与生产,-的脉冲激光沉积生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话!!!




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