气体管道设计规范
1氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时,应有换气1~3次/h的通风措施。
2按标准单元组合设计的通用实验室,各种气体管道也应按标准单元组合设计。
3穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间采用非燃烧材料严密封堵。
4氢气、氧气管道的末端和顶端宜设置放空管。放空管应高出层顶2m以上,并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样点和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。
5氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按现行有关规定执行。
6管道敷设要求
输送干燥气体的管道宜水平安装,输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度,坡向冷凝液体收集器。
氧气管道与其他气体管道可同架敷设,其间距不得小于0.25m,氧气管道应处于除氧气管道外的其它气体管道之上。
氢气管道与其可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.50m;交叉敷设时,其间距不应小于0.25m。分层敷设时,氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地。不得穿过不适用氢气的房间。
气体管道不得和电缆、到店线路同架敷设。
气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。
管道与设备的连接段宜采用金属管道,如为非金属软管,宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管,不得采用乳胶管。
阀门和附件的材质:对氢气和煤气管道不得采用铜质材料,其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。
气体管道安装
在实验室设计领域中,实验室供气系统的规划设计是相当重要的。不仅是给试验操作人员一个---的工作环境,是对试验人员的人身安全的一个保障。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道,需要用保温材料包覆在管道外面,防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。所以在实验室设计之初我们就应该把供气系统的设计规范考虑进去。相应等级的实验室就应该有相应的设计规范,这样才能完i美的设计出一个利于工作而---安全的实验室。
一、气瓶间及气瓶的安全规范
1气瓶应专瓶,不能随意改装其它种类的气体。
2气瓶室严禁靠近火源、热源和有腐蚀性的环境。
3气瓶室必须使用防爆开关和灯具,周围禁止动用明火。
4气瓶室应有通风设备,保持阴凉,气瓶室顶部应该留有泄流孔防止易i燃气体的---。
5空瓶与实瓶分区放置,气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。
6瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全,无漏气、滑丝、表针松动等危险情况,各类气压表一般不得混用。
7气瓶在储存、使用时必须直立放置,工作地点不固定且移动频繁时,应固定在手推车上,防止倾倒,严禁卧放使用。
8气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备,与明火距离不少于10m,氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时,不能放在一起。
9使用后的空瓶,应移至空瓶存放区,并加上空瓶的标示,严禁空瓶与实瓶混存。
10气瓶中气体不可用尽,必须保持一定余压。
11 气瓶须定期检验,不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶,液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。
12气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对日用气量不超过一瓶的气体,实验室内可放置一个该种气体的气瓶,但气瓶应有安全防护设施。
13氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou),为了达到工艺对气体的要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工。联接时,一般要在螺纹联接部分---氟塑料密封带,或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料,以防止泄漏。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管,经电解拋光(electro-polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如gn2、cda。管道与设备的连接段宜采用金属管道,如为非金属软管,宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管,不得采用乳胶管。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking),则用于不做为供气管路的双套外管。
气体管道工程施工组织都有哪些?
1.材料:根据图纸设计的参数要求,我们要准备相应材质的材料管子、三通、弯头、阀门等管径的大小,管壁的厚度以及相应的辅助材料不常用数量少的材料要---注意。
2.人员工具:根据施工工地的工作量,施工的工期配备相应的技工和相应的辅助工并配备相应的施工工具。做好工具的分类方便领用
3.机具:机具在施工过程中是不可缺少的,我们要根据施工的要求选择相应的机具,对机具操作人员进行相应的培训考核,以---对机具的正确使用。
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