激光脉冲沉积设备报价-了解更多 沈阳鹏程真空技术
pld是将脉冲激光透过合成石英窗导入真空腔内照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume状等离子体状态,然后被堆积到设在对面的基板上而成膜。pld方法可以获得拥有热力学理论上准稳定状态的组成和构造的人工合成新材料。
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连续组成扩展(ccs )
常规沉积条件下的组合合成
组合合成是一种基于脉冲激光沉积的、组合材料合成的新型连续组成扩展(ccs) 方法。pld-ccs 系统能以连续的方式改变材料,没有---使用掩模。可以在每一次循环中,以小于一个单分子层的速率,快速连续沉积每一种组份,其结果是基本等同于共沉积法。该法无需在沉积后进行退火促进内部扩散或结晶,对于生长温度是关键参数的研究或者被沉积的材料或基片不适合高温退火的情况是有用的。以上就是关于脉冲激光沉积的相关内容介绍,如有需求,欢迎拨打图片上的热线电话。
激光分子束外延(laser mbe )
激光mbe 是普遍采用的术语,该法是一种纳米尺度薄膜合成的理想方法,高真空下的pld 与在线工艺监测的反射高能电子衍射rheed的联合应用,用户提供了类似于mbe 的薄膜生长的单分子水平控制。
正确的设计是成功使用rheed 和pld 的重要因数
rheed 通常在高真空<10-6 torr环境下使用。然而,因为在某些特殊情况下,pld 采用较高的压力,差动抽气是---的,
维持rheed 枪的工作压力,同时保持500 mtorr 的pld 工艺压力。同时,设计完整的系统消除磁场对电子束的影响是---的。neocera 的激光mbe 系统可以为用户提供在压力达到500 mtorr 时所需的单分子层控制。
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【设备主要用途】
pld450a型脉冲激光沉积设备采用pld脉冲激光沉积技术,用于制备高温超导薄膜、半导体膜、铁电薄膜、硬质薄膜以及微电子和光电子用多元氧化物薄膜及异质结,也可用于制备氮、碳、硅化合物及各种有机—无机复合材料薄膜及金刚石薄膜等。
【设备优点】
设备全程采用一键式操作抽气,关机,程序自动化定时操作。避免了繁琐的角阀,插板阀人工开启。
【设备主要组成】
设备由沉积腔室单室球形或圆筒形、样品加热转台、激光入射转靶、激光窗、电源控制系统、激光束扫描系统、计算机控制转靶的旋转、脉冲准分子激光器等组成
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