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发布者:深圳市瑞泓科技有限公司 时间:2021-12-3
真空镀膜磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电子交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击亚气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。
不管平衡非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率,可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构,同时溅射速率要减小。旋转磁场多用于大型或贵重靶。如半导体膜溅射。对于小型设备和一般工业设备,多用磁场静止靶源。
离子镀特点(1)在真空条件下进行工艺操作,不用酸碱盐,不允许用液体,没有三废排放,对环境没有污染,不需治理污染投资。(2)生产过程中不产生六价铬,不用qing化物,离子镀对人体无害。(3)各类基材表面均可以进行离子镀工艺操作,如钢铁、铜合金、铝合金、锌基合金、塑料、纸张、布、木材、陶瓷、玻璃……均可进行离子镀,只是选择不同离子镀技术和不同工艺而以。
如钢铁、铜合金、铝合金、锌基合金、塑料、纸张、布、木材、陶瓷、玻璃……均可进行离子镀,只是选择不同离子镀技术和不同工艺而以。镀膜与基材之间可以形成过渡层,所以镀膜的附着性比电镀膜好(电镀膜没有过渡层),如铜材表面离子镀铝,在膜的-方向,有铜与铝共存区,有2m~4m宽度的过渡层如图1所示。铜基材离子镀铝过渡层经x-衍射分析,工件脉冲负偏压-1500v,铜与铝形成al4cu9、alcu3合金相。
一般要求耐高温的部件,做真空电镀都要在喷一层uv油,这样使得产品表面即有光泽、有耐高温、同时又-附着力。
因此,为-真空电镀的附着力,均需后续进行特殊的喷涂处理,成本当然高些。c、水电镀颜色较单调,一般只有亮银和亚银等少数几种,对于闪银、-蓝、裂纹、水滴银等五花八门的七彩色就-为力了。而真空电镀可以解决七彩色的问题。
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