真空腔体公司品牌企业「沈阳鹏程」

真空腔体的优势及特性

——按照客户要求，加工订制；

——出图设计；

——可配套固定真空机组系统；

——耐高温、耐腐蚀；

——高、---；

加工工艺，完全采用真空焊接技术拼装焊接；

---的真空捡漏设备，---产品的---性；

真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求---的真空领域。

真空腔体制造技术介绍

真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中，是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井——这些构成一个完整的真空腔体。

复杂的真空腔体通常需要定制，即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计，如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境，可用于焊接，或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。

沈阳鹏程真空腔体制造技术

提供设备腔的定---务，腔体的外形和开口可以根据用户要求进行设计。

表面分析腔有通用腔体，用户也可以在通用腔体的基础上进行自定义设计。

手套箱和焊接箱于熔炼或焊接钛、锌等对易在---中氧化的材料。

真空密封颈是基板和钟形罩之间的过渡组件，它可以提供额外的高度和更多的自由端口。

装载锁定室是建在主腔体上的---制作小腔体，可在不破坏主腔体真空度的条件下，将样本、晶片或其他组件从外部---环境移动到内部高真空环境中。

真空腔体——真空度的分类

真空腔体可以按照真空度进行分类，包括粗或低真空度(< 760, >; 1 torr)，中真空度(< 1, >;10-3 torr)，高真空度(< 10-3, >;10-8 torr)，真空度(< 10-8 torr)，以及非真空的高压力 (>; 760 torr)。真空腔的宽度和外径等常规尺寸是非常重要的参数。标准钟形罩或柱形腔体的可选直径是12英寸，14英寸，18英寸和24英寸。

真空腔体或者真空组件的可选项包括法兰、装配形式、表面抛光或电抛光、开口或传导口，加热器和冷却方式等。