VARIAN分子泵代理的行业须知「多图」
发展真空技术,助力半导体行业我国是大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与---设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程---部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,中科科仪积极响应需求,承担科技部《---规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,---多项关键技术,于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵,---国外产品垄断。5大防腐特性嵌入式75°c加热系统惰性气体吹扫5轴控制自动平衡系统高通量应用ath400m,ath1000m,th1300m是专为高压、高通量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。varian分子泵代理
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