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　　净化工程噪声控制有-的要求。这里有-先说明一下无窗洁净室的照明方式：

　　(1)一般照明它指不考虑特殊的局部需要，为照亮整个被照面积而设置的照明。

　　(2)局部照明这是指为增加某一指1定地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。

　　(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%，但不低干150lx。单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(lx)。辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300lx。国外洁净室的强度要求-，例如美国关于洁净室的几个标准的要求是.人工光300lx有较好的效果，当工件精细程度更高时，500x也是允许的。对于要红灯照明的地方，如电子行业的光刻车间，其照度一般为(25—501x)，用天然光时可允许更高的照度，因而对工作是有利的，所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，这也是为了节能而出现的一种动向。

　　净化工程解决方案：各种不同的加湿器的应用范围不同：如：淋水、湿膜、高压喷雾等水加湿器，其特点是加湿量大、投资费用低，而相对湿度控制精度较差，因此多用于相对湿度要求不严格(>;±10%)，加湿量很大的工业厂房和一般舒适用空调房间的空调系统加湿。净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿因投资较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。

光学微电子净化工程解决方案:

2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+高1效送风口

缺点：

　　a.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;

　　b.空调机组与空调处理机组要集中布置;

　　c.造价较低。特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

无尘室温湿度控制方法：

1、无尘室温湿度维护管理。

无尘室适当之正压保持>;0.5mmaq，做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。

隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不-、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。

2、室内发尘不积留。

墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。

3、发生尘埃排除。

换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

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