气体成分与材料的不相容性
气体在某种条件下与气瓶、阀门、管路材料不相容可导致如下危险:
1、腐蚀
1湿气腐蚀
例如hcl、cl2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶,水分的引入可能来源于客户使用,没有关闭阀门,也可能在充装过程中或水压检验中;nh3、so2、h2s也有类似的腐蚀。即使是干燥的氯i-和氯i气,高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。
2应力腐蚀
在co、co2、h2o共存时,极易腐蚀碳钢瓶。因此在制备含有co和co2的标准气体时,气瓶要进行烘干处理,原料气体也要使用高纯气体或不含水分的气体。
2、生成危险的化合物
1乙i炔和含铜大于70%的铜合金反应生成金属有机化合物。
2单卤代烃ch3cl、c2h5cl、ch3br等不能盛装在铝合金气瓶中,它们会与铝缓慢形成金属有机卤化物,遇水爆i炸。如果气瓶中含有水分,配制后的标准气体中可以检测出烷烃和氢气。
3、爆i炸反应因气体与阀门密封材料或管路材料不相容引-i炸反应。如氧化性气体不能选用可燃密封材料的阀门。在标准气体配制时这一点容易被忽视。其中包括如何计算标准气体的氧化性。
目前高压氙气灯损坏的原因之一是氙灯的引出线烧断,这除了生产商要加强灯的引出线制作工艺外,使用安装时,由于电源连接线与管帽未旋紧,造成接触-,增大的接触电阻,在大电流通过该点时产生-的焦耳热(q=i2r)产生-,使接触点的接触电阻进一步增加,热量进一步增大,如此恶i性循环产生高热量会烧坏灯头引出线。
氙灯在使用一段时间后若发现有飘弧现象时横向点燃,关灯后可将灯转动180°,可克服上述飘弧现象,延长灯的使用寿命。
建议新灯使用时可工作于额定电流的70%~80%,然后根据需要逐渐增大工作电流不得超过规定的限定值,这样可延长灯的使用寿命。
用于点灯的电源,其电流脉动系数一定要小于3.5%,而且越小越好,并还需-当灯管启动瞬间的冲击电流要小,否则会对灯的电极损坏很大,缩短灯的使用寿命。
灯用到规定的使用寿命后,应及时更换灯管。使用过程中发现灯管的泡壳-发黑时应换灯,否则会造成泡壳温度过高,易炸灯。
其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、mocvd/led消费工艺和气体应用。
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