MBE分子束外延设备价格-「沈阳鹏程」

电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电子束产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！

设备组成：

设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。

作用：电子束蒸镀常用来制备al、co、ni、fe的合金或氧化物膜，sio2、zro2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。

电子束镀膜属于蒸镀还是溅射？

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1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物---相沉积pvd的工艺方法。

2.蒸发镀主要包括：电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。

3.您所说的e型枪镀膜和直型电子枪镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。

4.s枪溅射实际就是锥形磁控溅射靶，阴极靶材为环状锥形，安装在水冷座上。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场，其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束蒸发镀膜的优势电子束蒸发的优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。电子束被约束在靶面附近运动，电子流密度很大，在靶面附近产生很强的非弹性碰撞，电离几率很大，形成很强的等离子体。

电子束镀膜机电源柜的操作

1. 总电源

2. 同时开电子枪控制ⅰ和电子枪控制ⅱ电源：按电子枪控制ⅰ电源、---开关、电源及保护灯亮，三分钟后--- 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3. 开高压，高压会达到10kv以上，调节束流可到200ma左右，帘栅为20v/100ma，灯丝电流1.2a，偏转电流在1~1.7之间摆动。

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