杭州EMMI 厂商常用解决方案「苏州特斯特」

emmi微光显微镜

微光显微镜emission microscope, emmi是常用漏电流路径分析手段。对于故障分析而言，微光显微镜emission microscope, emmi是一种相当有用且效率---的分析工具。主要侦测ic内部所放出光子。在ic元件中，ehpelectron hole pairsrecombination会放出光子photon。如在p-n结加偏压，此时n阱的电子很容易扩散到p阱，而p的空穴也容易扩散至n，然后与p端的空穴或n端的电子做ehp recombination。在故障点定位、寻找近红外波段发光点等方面，微光显微镜可分析p-n接面漏电；p-n接面崩溃；饱和区晶体管的热电子；氧化层漏电生的光子激发；l---h up、gate oxide defect、junction leakage、hot carriers effect、esd等问题.

芯片失效分析步骤:

1、非破坏性分析：主要是超声波扫描显微镜c-sam--看有没delamination，xray--看内部结构，等等；

2、电测：主要工具，万用表，示波器， tek370a

3、破坏性分析：机械decap，化学 decap芯片开封机

4、半导体器件芯片失效分析 芯片內部分析，孔洞气泡失效分析。

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